Bruksområder for tantalmålmaterialer

Hovedsakelig brukt i fysisk dampavsetning og andre prosesser, under sputteringsprosessen, bombarderes atomer på overflaten av tantalmålet og avsettes i form av en tynn film på underlaget for å oppnå ønsket tynnfilmmateriale.
Smeltepunktet for tantal er så høyt som 2996 grader, noe som gjør at tantalmål kan opprettholde god strukturell stabilitet i høye-temperaturforstøvningsmiljøer og ikke lett deformeres eller fordampes. Tettheten er vanligvis over 16,6 g/cm³, noe som kan redusere sprekk- eller deformasjonsproblemer under sputtering, samtidig som det reduserer partikkelsprut og forbedrer filmkvaliteten. Ved sputteringstemperaturen er den ikke lett flyktig, noe som sikrer minimalt tap av målmaterialet under sputterprosessen og gir stabile tantalatomer for tynnfilmavsetning.
De kjemiske egenskapene til tantal er meget stabile, og det reagerer nesten ikke med andre syrer bortsett fra flussyre og varm konsentrert svovelsyre. Den kan også brukes lenge i tøffe kjemiske miljøer, og tantalfilmen laget av den har også god korrosjonsbestandighet. Tantaloverflaten er tilbøyelig til å danne en tett og stabil tantaloksidpassiveringsfilm, som effektivt kan forhindre ytterligere oksidasjonskorrosjon og forbedre materialets levetid.
Søknadsfelt
I produksjonen av integrerte kretser brukes tantalmålmaterialer for å forberede diffusjonsbarrierelag, forhindre kobberforbindelser i å diffundere inn i silisiumsubstrater, forbedre enhetens pålitelighet og ytelse, og kan også brukes som gatematerialer eller deler av metallporter for MOSFET-er, samt kondensatorelektroder i minneenheter med høy-tetthet som DRAM.
I produksjonen av flytende krystallskjermer (LCD-er) og organiske lysemitterende dioder (OLED-er) brukes tantalmål for å klargjøre elektrodene og ledningslagene til tynnfilmtransistorer (TFT-er). Deres stabilitet og ledningsevne bidrar til å forbedre skjermkvaliteten. I tillegg kan de også brukes som tynnfilminnkapslingslag i OLED-er for å forlenge enhetens levetid.
Brukt til å lage optiske filmer som antireflekterende belegg eller filtre, tantalfilmer med høy -renhet har jevn brytningsindeks og god holdbarhet, egnet for optiske presisjonsinstrumenter som kameralinser og laserenheter. I kjemiske, petroleums-, marine- og andre miljøer kan anti-korrosjonsbelegg laget av tantalmålmaterialer effektivt beskytte utstyr, rørledninger og beholdere mot korrosjon.