Rengjøring av et måls overflate gjøres for å bli kvitt støv eller skitt som kan være tilstede. Fire trinn kan brukes til å rengjøre metallmål:
Rengjøring gjøres først med en aceton-våt, myk klut fri for lo;
For å rengjøre med alkohol, er den andre prosedyren lik den første;
Rensing med avionisert vann er det tredje trinnet. Målet bør tørkes i en ovn i 30 minutter ved 100 grader Celsius etter å ha blitt rengjort med avionisert vann. For å rengjøre oksid- og keramikkmålene anbefales en "lofri klut".
Målet spyles med høytrykks- og lavfuktighetsargon i fjerde trinn for å kvitte seg med eventuelle urenheter som kan føre til buedannelse i sputtersystemet.
Sørg for at hendene dine er rene og lofrie før du bruker målmaterialet. Legg aldri hendene direkte på målstoffet.
Sprutet som samles i midten og på begge sider av forstøvningssporet må fjernes gradvis for å forhindre kortslutning og buedannelse forårsaket av det skitne hulrommet under sputterprosessen. Dette gjør det også mulig for brukeren å operere kontinuerlig med maksimal effekttetthet. Sputtering.
