Mange forbrukere klarer ikke å ta hensyn til et profesjonelt synspunkt når de anskaffer seg mål. Følgende lister opp vurderingene som bør gjøres før du kjøper mål.
Renhet er en av de viktigste ytelsesindikatorene for målet for alle metaller. Ytelsen til den etterfølgende produktfilmen påvirkes betydelig av målets renhet. Imidlertid varierer renheten til det ønskede materialet avhengig av produktet.
Målets urenhetsinnhold kommer på andreplass. Forurensningene i målfaststoffet og oksygen og vanndamp i porene er hovedårsakene til forurensning av den avsatte filmen etter en rekke målprosessbehandlinger. Kravene til ulike urenhetsinnhold i mål for ulike formål er likeledes forskjellige på grunn av den varierte bruken. For eksempel er det visse spesifikasjoner for innholdet av alkalimetall og radioaktive elementer i målene av rene aluminium og aluminiumslegeringer som nå brukes i halvledersektoren.
Et av målets viktigste ytelsesmål er tetthet. Det er typisk nødvendig for målmaterialet å ha en høyere tetthet for å redusere faststoffets porer og forbedre ytelsen til den sputterte filmen i den tekniske prosessen til målmaterialet.Fordi den primære Den karakteristiske tettheten til målmaterialet påvirker både filmens elektriske og optiske egenskaper, det har en betydelig innvirkning på sputterhastigheten. Ytelsen til filmen øker med måltettheten.
Kornstørrelsen og kornstørrelsesspredningen kommer sist. Målmaterialet er ofte polykrystallinsk og har korn som varierer i størrelse fra mikrometer til millimeter. Mens tykkelsesfordelingen til den sputterede filmen avsatt av målet med en mindre kornstørrelsesforskjell (jevn fordeling) er mer ensartet, er sputterhastigheten til et mål med fine korn høyere enn for et mål med grove korn for samme målmateriale.
