1. Kutt den nødvendige vanadiumblokken i henhold til målstørrelsen med en horisontal sagmaskin, forvarm ved 450-500 grader, smi deretter og kontroller den totale deformasjonshastigheten for smiing til 70-80 %;
2. Glød den smidde vanadiumblokken ved en temperatur på 400-500 grader og en holdetid på 60-120min, og avkjøl den deretter ved luftkjøling;
3. Rull den glødede vanadiumblokken, og kontroller pressemengden for hver pass til 0.5-1mm, og kontroller den totale deformasjonen til 70-80 %, inntil vanadiummålemnet til nødvendig diameter og tykkelse oppnås;
4. Glød det rullede vanadiummålemnet igjen ved en temperatur på 450-550 grader og en holdetid på 90-150min. Etter gløding igjen, vannkjøl den for å oppnå det nødvendige vanadiummålemnet med høy renhet.
Vanadiummålemnet fremstilt på denne måten har ikke bare en jevn indre struktur, men har også fordelen av fine korn.
Målmaterialet må ha høy renhet, mindre urenheter, jevn kjemisk sammensetning, ingen segregering, ingen porer, jevn kornstruktur og kornstørrelse på mikrometer til millimeternivå. Kornstørrelsesforskjellen i et enkelt katodemål må være så liten som mulig. På denne måten er det ikke lett å produsere utladningsfenomen ved magnetronforstøvning, og magnetronforstøvningsfilmen er jevn.
Påføring av vanadiummål
Brukes innen solenergi, flatskjermer, elektronikk og halvledere, som integrerte kretser, bakplanmetallisering, optoelektronikk og andre applikasjoner.
