Hvilke typer målmaterialer finnes - Del én

Hva er målmaterialet?

Mål er faktisk et vidt begrep. Det er tre måter å klassifisere målmaterialer på:

1. I henhold til de ytre dimensjonene kan den deles inn i sylindriske, rektangulære, firkantede platemål og rørmål. I henhold til materialet kan målmaterialene deles inn i metallmål, polymerkeramiske ikke-metallmål og legeringsmål, etc.;

2. I henhold til materialet kan målmaterialene deles inn i konvensjonelle metallmål, edelmetallmål, sjeldne jordmetallmål, ikke-metallmål, legeringsforstøvningsmål, keramiske sputtermål, etc.;

3. I henhold til applikasjonsfeltet kan det deles inn i mål for halvledere, mål for skjermpaneler, mål for solceller, mål for magnetisk opptak m.m.

Klassifisering etter målform

Vanlige mål er stort sett firkantede mål og runde mål, som er solide mål. I belegningsoperasjonen er magnetfeltet generert av den sirkulære permanentmagneten på overflaten av målet ringformet, ujevn erosjon vil oppstå, tykkelsen av den sputterede filmen er ikke god, og utnyttelseseffektiviteten til målet er bare ca. 20 % til 30 %. Det hule rørmålet som for øyeblikket fremmes kan rotere rundt en fast stangmagnet i en viss tidsperiode, og måloverflaten på 360 grader kan etses jevnt, noe som har åpenbare fordeler og øker utnyttelsesgraden til 80 %.

Klassifisering etter målmateriale

Konvensjonelle metallmål: