Det finnes mange typer sputteringsmål, høye renhetskrav og et bredt spekter av bruksindustrier. I dag skal vi snakke om de fire typene sputtermål som vanligvis brukes i fire felt, høyrent aluminiummål, titanmål, tantalmål og wolframmål. Titanmål. Områder de dekker inkluderer flatskjermer, halvledere, lagring og solceller.
Aluminiumsmål (lagerrenhet 99,99 prosent - 99,999 prosent )
Høyrent aluminium og dets legeringer er et av de mest brukte ledende tynnfilmmaterialene. Innenfor sitt bruksområde krever produksjonen av VLSI-brikker sputtering av målmetaller med svært høy renhet, typisk så høy som 99,9995 prosent, mens flatskjermer og solceller har litt lavere metallrenhet.
Titanium Target (lagerrenhet 99,99 prosent - 99,999 prosent )
Titan er et av de mest brukte barrierefilmmaterialene i VLSI-brikker (det tilsvarende ledende lagmaterialet er aluminium). Titanmålet vil bli brukt med titanringen under pre-chip-fabrikasjon. Hovedfunksjonen er å hjelpe sputterprosessen til titanmål, som hovedsakelig brukes innen produksjon av ultra-storskala integrerte kretsbrikker.
Titan wolframmål (lagerrenhet 99,95 prosent)
Tungsten-titanium-legeringer har lav elektronmobilitet, stabile termomekaniske egenskaper, god korrosjonsbestandighet og god kjemisk stabilitet. I de senere årene har wolfram-titanium-legering-sputtering-mål blitt brukt som kontaktlagmateriale for portkretser av halvlederbrikker. I tillegg kan wolfram- og titanmål også brukes som barrierelag i metallforbindelsen til halvlederenheter. For høytemperaturmiljøer, hovedsakelig for vlsI og solceller.
Tantalmål (bestandsrenhet 99 prosent, 99,5 prosent, 99,9 prosent, 99,995 prosent, 99,99 prosent, 99,995 prosent 99,999 prosent)
Med den eksplosive veksten i etterspørselen etter elektroniske forbrukerprodukter som smarttelefoner og nettbrett, har etterspørselen etter high-end brikker økt betydelig, og tantal har blitt en populær mineralressurs. Imidlertid gjør knappheten på tantalressurser tantalmål med høy renhet dyre, som hovedsakelig brukes i storskala integrerte kretsløp og andre felt.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. er en høyteknologisk bedrift som spesialiserer seg på produksjon og salg avsprutende tantalmålog ildfaste ikke-jernholdige metallmaterialer. Produktene er mye brukt innen petroleum, kjemisk, elektronisk, håndverk, maskineri, medisinsk utstyr og andre felt. Produktene eksporteres til land i inn- og utland.
