Vi er alle klar over det tette forholdet mellom den teknologiske utviklingstrenden for målmaterialer og utviklingstrenden for målforberedelse. Målteknologien bør tilpasses i tråd med hvordan applikasjonsindustrien fremmer teknologien for tynnfilmvarer eller komponenter. La oss følge redaktøren for å finne ut hvordan målet ble utarbeidet.
1. For å lage mekanisk komposittpulver, bland monomer indiumoksidpulver med monomertinnoksidpulver i et masseforhold på 9:1, eller lag først indiumtinnoksid kjemisk komposittpulver ved hjelp av kjemiske prosedyrer. Pulveret er 99 % rent, sfærisk eller kvasi -sfærisk, med en gjennomsnittlig partikkelstørrelse på 30-200 nm og ingen tegn på hard agglomerering.
2. Deoksider komposittpulveret ved 350 grader i et oksygenmiljø.
3. Fyll konvolutten med komposittpulveret for kald isostatisk pressing. Olje brukes som kaldt isostatisk pressemedium, og det brukes et trykkområde på 200 til 280 MPa. Den grove tettheten som ble oppnådd varierer fra 45 % til 55 % av den teoretiske tettheten.
4. Plasser det grove emnet i en beholder som har passende størrelse. For å hindre at de reagerer ved høye temperaturer og trykk, plasseres en metalltantalfilm, nikkelfilm, niobfilm eller platinafilm mellom beholderen og den grove kropp.
5. Støvsug beholderen og omslutt den med grove emner.
6. Sett den nevnte beholderen inn i en varm isostatisk presseovn. Med en holdeperiode på 0.5–6 timer og et argonatmosfæretrykk på 100–120 MPa, skjer varm isostatisk pressing ved temperaturer mellom 100 og 300 grad.
7. Fjern karbonstålbeholderen etter varm isostatisk pressing ved å sylte i fortynnet salpetersyre, skrell av metallfoliebarrieren og samle opp ønsket materiale.
8. For å kutte målmaterialet til ønsket størrelse, bruk trådskjæringsmetoden.
